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   真空冶金工業(yè)自二十世紀五十年代發(fā)展以來(lái)之所以得到極為廣泛地應用，是因為真空環(huán)境在冶金過(guò)程中具有一系列的特點(diǎn)所致。首先是真空環(huán)境中物質(zhì)與殘余氣體分子間的化學(xué)作用十分微弱，因此非常適宜對黑色金屬、稀有金屬，超純金屬及其合金、半導體材料的熔煉和精制。其次，在真空環(huán)境中可通過(guò)降低單一氣體分子的分壓強、達到鋼液脫氣精煉、真空碳脫氧的目的。

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真空機組一般由下列元件構成：各種真空泵；真空測量裝置；真空閥門(mén)；真空管道和一些其它元件，例如撲集器、真空接頭、儲氣罐、波紋管、除塵器和真空繼電器等。

按機組的工作壓力分，有粗真空機組(>1330Pa)；低真空機組(1330~0.13Pa)；高真空機組(0.13~1.3×10-6 Pa)；超高真空機組(1.3×10-6~1.3×10-11 Pa)；極高真空機組(<1.2×10-11 Pa)。

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渦輪分子泵是利用高速旋轉的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。

渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快，能抗各種射線(xiàn)的照射，耐大氣沖擊，無(wú)氣體存儲和解吸效應，無(wú)油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加su器、可控熱核反應裝置、重粒子加su器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。

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分子泵是一種利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。 它不同于傳統的容積式機械泵，其抽氣機理是在分子流區域內，通過(guò)高速運動(dòng)的剛體表面傳遞給氣體分子動(dòng)量，使氣體分子在剛體表面的運動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)，從而達到抽氣的目的

如果不采用一個(gè)操作合理的前級管道**閥，就有可能即污染渦輪分子泵又污染真空室。當前級泵斷電停車(chē)時(shí)，前級泵就會(huì )給自己充氣反向通到渦輪分子泵的排氣口。這種前級泵充氣會(huì )輸送前級管道返流的泵油，之后通過(guò)渦輪分子泵進(jìn)入真空室，這種現象稱(chēng)為油污染，被污染后渦輪分子泵的葉片就必須在廠(chǎng)家的指導下用氟利昂來(lái)清洗。德國普發(fā)分子泵電源維修

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葉片的視角大，則排氣管速率大，發(fā)動(dòng)機壓縮比小。葉片的視角小，則排氣管速率小，發(fā)動(dòng)機壓縮比大。分子泵的排氣管速率大部分不會(huì )受到汽體類(lèi)型的危害，泵的限氣體壓強達到10-8Pa，可是對輕分子結構/分子，排氣管速率會(huì )有一定的減少

分子泵的清理十分關(guān)鍵，假如前面泵沒(méi)有問(wèn)題，而真空泵在要求的時(shí)間內沒(méi)有做到要求的真空值，在清除漏汽的狀況下，表明分子泵內部臟化了，就必須開(kāi)展清理。分子泵的清理分成立即開(kāi)展清理和拆裝清理，前面一種適用內部不太臟，后面一種用以?xún)炔勘容^嚴重臟化。

常常選用立即清理，其方式 以下:

(1)關(guān)閉分子泵，開(kāi)展排氣管。

(2)從機器設備上當心卸掉分子泵，留意不必遇到插口的邊沿一部分，以防危害密閉性。

(3)卸掉冷卻塔、潤滑脂包等。

(4)將分子泵的高真空泵插口朝下，豎直地方人一個(gè)盛滿(mǎn)沒(méi)有水酒精的器皿中，液位高寬比略低前面真空泵插口。

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